Dimension Vx 210/310 自动化原子力显微镜
Dimension Vx 210 AFP 结合原子力显微镜的分辨率、长程扫描能力（达100毫米）、高横向和纵向分辨率于一体，可以检测0.25微米级的特征。Dimension Vx 210 系统是化学机械抛光（CMP）过程中进行测量应用的理想工具，适合CMP 过程同时需要长程扫描测量模具的平面性和AFM分辨率成像检测栓塞和金属线。原子力轮廓仪可用来对比CMP前后的效果，如凹陷点、腐蚀点、栓塞、步高和平面性。
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