Dimension X3D 自动化原子力显微镜
Dimension X3D 自动化原子力显微镜是第一种可度量的，用于精确，无损伤的轮廓分析和关键尺寸的测量。它提供了对单独和密集特征形貌的直接测量并且适用于在不同的制程多种材料。这个系统是定位于先进器件制造的关键制程控制。
X3D可收集关键CD 结构的详细数据，如在光刻，先进的蚀刻制程中碰到的，包括门，浅槽隔离结构,双道金属镶嵌结构，侧壁线边缘的变化等和其他参照测量。系统的AFM技术提供无可比拟的分辨率，重复性和表现。作为第一个提供全自动AFM系统的公司，VEECO持续研发先进的测量技术以帮助客户更快的进入市场，达到更高的收益，减少成本和增加良率，就像在 X3D 中发现的一样。
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