Dimension AFP 自动化原子力显微镜
Dimension AFP 原子力轮廓仪是现今唯一的在 65nm 的尺度上对化学机械研磨和蚀刻制程测量提供实验室解决方案的单一机台。原子力轮廓仪结合了原子力显微镜的出众的解析度和轮廓仪的长距扫描功能，为蚀刻深度和器件表征提供了高精确的测量。它具有在任何原子力显微镜和轮廓仪中Zui快的生产能力，并具有无可比拟，如 STI, W, Cu 和 CMP在线量测重复性。
AFP 代替了昂贵，破坏性的切面技术，将蚀刻测量由原来几天缩减到几分钟。AFP独有轻敲模式能以无损伤地探测大宽深比的形貌，并具有高横向及纵向分辨率。
自动化的 AFP 的多功能模式和轮廓仪的功能为非常适合FEOL 和 BEOL 应用，包括：
· 化学机械研磨
· 刻蚀深度测量
· 台阶高度测量
· 粗糙度测量
· 芯片地图
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