Dimension VX200/300 自动化原子力显微镜
The Dimension Vx200/300原子力轮廓仪结合了原子力显微镜的原理以及轮廓仪所具有的长扫描性能，提供了Zui高性能的轮廓测量和原子力显微术的应用。它所提供的非破坏性的轮廓仪可为CMP的控制和表征，并可以对200mm和300mm晶片基体进行高深宽比的深度测量。这个半自动的平台如果加以适当的配置可以应用于测量不同的样品，包括：晶片，其中包括晶片，磁头，方形基片。
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