Dimension X3D-PM 自动化原子力显微镜
Dimension X3D-PM 是专门为光掩膜应用而设计的Zui新的自动化AFP。该系统能够提供无比的测量重复性、高分辨率、整体轮廓图，适用于铬合金、石英、硅化钼和光刻胶等各种材料。独一无二的3D-AFP技术是一种不受材料性质影响的高分辨且无损伤的测量技术，它具有完全的自动掩膜处理能力，Dimension X3D-PM AFP适应于收集各种详细信息于一个工具中，适用于Zui苛刻的掩膜制备过程，包括：多重CD线和空格、线和空格的深度测量、孔CD和深度、垂直和再进入侧面的侧面角、线宽度的变化率、掩膜修复时的缺陷检查。
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