德国学者宾尼格和瑞士学者罗雷尔于1982年制作胜利的“扫描隧道显微镜”，放大倍数可达3亿倍。
普通光学显微镜通过进步和改良透镜的性能，使放大率到达1000—1500倍左右，但一直末超过2000倍，显微镜价格。这是由于普通光学显微镜的放大才能受光的波长的限制。光学显微镜是应用光线来看物体，为了看到物体，物体的尺寸就必需大于光的波长，否则光就会 “绕”过往。理论研讨成果表明，普通光学显微镜的辨别本事不超过0。02微米，有人采取波长比可见光更短的紫外线，放大才能也不过再进步一倍左右。
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