FPD/LSI检查显微镜
ECLIPSE L300N 反射专用型
ECLIPSE L300ND 透反射两用型
集尼康光学技术于一身的CFI60光学系统,在亮度、对比度和可操作性能方面都达到Zui新的高度,适合于大直径硅片或大型液晶板的高级检查。
ECLIPSE L300D 300 mm硅片; ECLIPSE L300ND 300 mm硅片。

规格 | ||
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ECLIPSE L300N |
ECLIPSE L300ND |
主机 |
内置12V-50W卤素灯光源;内置用于电动控制器的电源 | |
物镜转换器:具备物镜转换器 | ||
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反射/透射切换器 | |
调焦部分 |
对焦部:行程29mm | |
反射照明部 |
12V50W高亮度卤素灯照明装置 | |
透射照明部 |
— |
12W50W高亮度卤素灯照明装置 |
接口 |
USBx1,RS232C(用于Intensilight)x1 | |
镜筒 |
L2-TTA超大视场正立调倾式三目镜筒(视角0~30°) | |
目镜 |
CFI目镜 | |
物镜 |
CFI60系列物镜 | |
载物台 |
14x12载物台、行程354mmx302mm(透射观察范围:354mmx268mm) | |
防静电功能 |
从1000到10V放电时间在0.2秒以内 | |
耗电 |
1.2A/90W | |
尺寸 |
约360(W)x581(H)x951(D)mm(倾斜角度为10°时) |
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