配置新开发的双共焦系统，可以测量那些原本难以测量的样品。此外，还充实了粗糙度测量功能，灵活运用非接触式测量的优点，其输出结果有着与接触式表面粗糙度测量仪相同的操作性和互换性。
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| 刀片 | 陶瓷粒子 |
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| 螺柱焊凸 | 微透镜 |
| 光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正） | |||
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| 总倍率 | 108x～17280x | |||
| 观察视场 | 2560x2560～16x16 µm | |||
| 机身 | 观察方法 | 明视场／微分干涉／激光／激光微分干涉 | ||
| 激光 | 405 nm 半导体激光 | |||
| 白色照明 | 白色LED照明 | |||
| 对焦单元 | 粗调Z轴载物台 | 划动 | 100 mm | |
| Zui大样本高度 | 100 mm | |||
| 细调Z轴物镜转换器 | 测量划动 | 10 mm | ||
| 驱动分辨率 | 0.01 µm | |||
| 重复性 | σn-1=0.012 µm | |||
| 物镜 | 5x, 10x, 20x, 50x, 100x | |||
| 光学变焦 | 1x～8x | |||
| 载物台 | 电动载物台 | 100x100 mm | ||
| 外形尺寸 | 276（W）x358（D）x405（H） mm | |||
| 重量 | 32 kg（只包括机身） | |||
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