InSight 3D AFM 自动化原子力显微镜
InSight 3D Atomic Force Microscope (AFM)具有无与伦比的精确度和精密度，同时它又是一种无损测量，并且能够做高解析度三维量测，特别适于量测45nm和32nm的半导体晶片的特征尺寸。Veeco新推出的这款产品的测量不确定性极低，所以在微距（CD）测量和边墙角度(SWA)测量方面有更优良的表现，这能够帮助明显改善半导体工艺的控制。
这款产品是生产型的精密量测仪器，是各种关键尺寸量测的基准，比如：光刻和高级蚀刻工艺，包括控制极(gate),浅槽隔离(STI),大马士革结构，边墙角度(SWA),线边变化等等。
该系统专为生产而特别设计和改进，其生产能力和生产效率为今天所有各种AFM中Zui好Zui快的，和以前的AFM相比，生产能力提高3倍，量测的精确度和精密度提高了2倍。可以说该款InSight 3DAFM提供了一种崭新的在线三维测量方法。
作为全球第一家提供全自动化原子里显微镜(AFM)系统的公司，VEECO将会持续研发更为先进的量测技术，以帮助客户更快地将产品推向市场，获得更好的回报，并且减少客户的成本和消耗，提高产品的合格率！
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