新型多功能FE-SEM显微镜的发布

2016-05-04新闻资讯

JEOL 发布场发射扫描电子显微镜FE-SEM,能提供更多成像和分析能力,并可以根据用户要求定制功能。JEOL JSM-7100F 系列在各种加速电压下都把小的探针和大的束状电流结合在一起,因此能提供低于1nm的成像能力和100nm的表征分析能力。

JSM-7100F主要为经费紧张的实验室设计,因此它是一款多功能、容易使用的场发射SEM,同时又可以扩展到新的水平。通过独特的'透镜场发射枪',SEM能对样品打出200 nA 的电流。孔径角控制镜头自动优化小探针光斑的尺寸,以进行高分辨率成像、保持高电子束的光斑形状和高分辨率显微分析。

JSM-7100FT新配了重新设计的复合透镜和带能量过滤器的透镜探测器,因此拥有先进的高分辨能力。电子柱优越的电子光学设计使它拥有高分辨率成像能力,对包括磁性样品在内的各种材质类型的表面细节都成像清楚。有集成的透镜加速、减速装置,就会减少低kV的畸变,得到更高速分辨率以及加速度小的电压。另外,JEOL的已被证实有效的束流减速模式会在给非导电样本成像时较少供电,提高了低kV下光斑的大小,提高了表面形貌。

新的场发射SEM为非导电样本的多种成像、分析技术提供越来越多的可能性。每个机器都采用涡轮分子泵和快速样本交换气闸确保清洁的真空环境。

可选低真空操作部件

可选LV功能(直到300Pa)为JSM-7100F和JSM-7100FT提供额外的功能,通过显微镜用户界面可全面控制LV功能,同时在高真空下不破坏真空无限制的低倍成像和高电子束时,允许所有的LV洞口被收回。LV系统配备在固态BSE检测器上。

可调节的多个分析技术

JSM-7100F系列配备了大的样本室,这样可以同时容纳各种检测器和附件,包括EDS、WDS、STEM、BSE、CL和IR相机,并不会折中某一个的表现,这个系统可以配备原位实验所需的各种载物台,如拉伸、加热和制冷载物台。

提高了生产率

JEOL以其容易使用的SEM操作软件、图形用户界面和生产率大幅提高而著称。存储图像时会保留操作条件,方便多个用户使用。图像的归档、搜索、测量、生成报告、过滤和剪接都可在图像数据库进行。