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显微镜解剖CPU Pentium III



接下来是让隧道扫描电子显微镜(SEM)来发挥了:

侧面照,那些金属小点直接连接至下面的电路部分

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加大分辨率,点与点之间填充的应该是某种高分子化合物


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似乎可以看见硅芯片表面的的一些细节了

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继续加大分辨率,可以看出元件分层状况

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10微米分辨率下已经清晰可见

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200纳米分辨率,铜矿核心后期的工艺为0.18微米

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再来一张整体预览

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要看到下面的晶体管必须去除上面这些层

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