接下来是让隧道扫描电子显微镜(SEM)来发挥了:

侧面照,那些金属小点直接连接至下面的电路部分

加大分辨率,点与点之间填充的应该是某种高分子化合物

似乎可以看见硅芯片表面的的一些细节了

继续加大分辨率,可以看出元件分层状况

10微米分辨率下已经清晰可见

200纳米分辨率,铜矿核心后期的工艺为0.18微米

再来一张整体预览

要看到下面的晶体管必须去除上面这些层
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