德国柏林工科大学的年青研讨员卢斯卡，1932年制造了第一台电子显微镜——它是一台经过改良的阴极射线示波器，胜利地得到了铜网的放大像——第一次由电子束形成的图像，加速电压为7万，Zui初放大率仅为12倍。尽管放大率微不足道，但它却证实了应用电子束和电子透镜可形成与光学像雷同的电子像。
经过不断地改良，1933年卢斯卡制成了二级放大的电子显微镜，金相显微镜，获得了金属箔和纤维的1万倍的放大像。
1937年应西门子公司的邀请，卢斯理树立了超显微镜学试验室。1939年西门子公司制作出辨别本事到达30埃的世界上Zui早的适用电子显微镜，并投进批量生产。
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